半導体製造
太陽光電池製造
LED製造用
熱処理炉の開発
設計製造 保守改造

研究開発向け熱処理装置の設計製造
少量生産の特殊なデバイスにも対応
お客様の多様なニーズにお応えします

すべての電子機器の基幹部品である
半導体の熱処理工程を支える専門企業

弊社は株式会社ディー・エス・アイの技術部門が2013年8月に分離独立して設立しました。

スタッフは全員、半導体向け電気炉と熱処理関係の業務に数十年従事した豊富な経験が有ります。
半導体部品製造に使用されます酸化炉、拡散炉、CVD装置等の設計・製作において、豊富な経験と独自技術でお客様の多種多様なご要望にお応えして参ります。

主要製品

半導体製造・太陽光電池製造・LED製造用熱処理炉の設計、製造、保守、改造を行っています。
酸化、拡散、LP-CVD、アニール等さまざまな炉に対応、2inchなどの小口径や特殊デバイスも承っております。

・縦型拡散炉・縦型真空アニール炉・縦型LP-CVD炉(DTVシリーズ)
・横型拡散炉・横型真空アニール炉・横型LP-CVD炉(DTHシリーズ)
・小型卓上炉・横型炉用ウエハ搬送システム 他

Information

Contact

当社は半導体製造および太陽光電池、LED製造用熱処理炉の
設計・製造・再生・改造・保守を承っております。
小口径、特殊デバイスにも対応。まずはお気軽にお問い合わせください。