半導体製造・太陽光電池製造・LED製造用熱処理炉
中古炉の再生利用(リファビッシュ)

中古炉の再生利用 Refurbishment

当社では、中古半導体製造炉のリファビッシュ製品の取り扱いも行っています。買取、再生、納入後のメンテナンスの他、御社ご希望の仕様への改造等も対応いたします。

中古炉リファブのサービス内容 Service contents

半導体製造用熱処理中古炉リファブのサービス内容 半導体製造用熱処理中古炉リファブのサービス内容 半導体製造用熱処理中古炉リファブのサービス内容

現状有姿状態(As Is)での販売等を行う業者さんもいらっしゃいますが、弊社で販売する中古装置の場合、電源投入を行い現状を詳しく確認してから、お客様と入念なお打合せを行いリファビッシュ内容を明確にし納得のゆく対応を行います。
経験豊富なエンジニアが立下げから立上げまでワンストップで対応いたします。

立下げ作業/搬出作業
搬出先の場所に出向き、装置の確認を行います。
電源投入が出来ない場合でも状態確認を大切にしております。搬出等に関しては協力会社の搬出/搬入専門業者にて安全かつ迅速な作業を行います。

分解・交換・検査作業
自社工場に持ち込み電源投入を行い、入念な状態確認を行います。
動作確認を行うことでリファビッシュが必要な個所を特定し、お客様へ交換の必要箇所の御提案を行います。合意された部分の部品交換を行い、弊社規定の検査項目に沿った最終検査を行ったうえで出荷となります。最終検査では事前にお客様と取り交わした試験項目を盛り込んだ検査になる場合もございます。

搬入・据え付け・立上げ作業
既定の検査項目をクリアし、お客様の立ち合い確認後、各御客様の仕様に合わせた搬入梱包を行い出荷いたします。現地搬入に関しても、お客様施設の安全基準に則り、迅速かつ安全な作業を行います。

装置立上げ・引き渡し作業
社内で行った検査項目の再現を確実に行います。プロセス再現等についても対応可能です。お気軽にご相談ください。

リファビッシュ実績 Results

半導体製造用熱処理炉リファビッシュ実績光洋サーモ株式会社製 PYRO酸化炉
光洋サーモ株式会社製 PYRO酸化炉

4inch対応横型1段炉
1000℃対応

半導体製造用熱処理炉リファビッシュ実績東京エレクトロン製 バブラー酸化炉
東京エレクトロン製 バブラー酸化炉

TEL製6inch対応横型3段炉 MODEL:DL-8P-382
3段共ヒーター実装 使用可能 石英チューブ付属
3段共バブラー酸化仕様 最高使用温度 1000℃
TOPチューブのみオートローダーユニット有り(使用可能)

上記メーカー以外でもリファビッシュ対応が可能です。 まずはお問い合わせください。

Contact

当社は半導体製造および太陽光電池、LED製造用熱処理炉の
設計・製造・再生・改造・保守を承っております。
小口径、特殊デバイスにも対応。まずはお気軽にお問い合わせください。