半導体製造・太陽光電池製造・LED製造用熱処理炉
設計・製造

小型精密炉・実験用炉・特殊炉の設計・製造 Design and manufacture

半導体製造工程・太陽電池製造工程・LED製造工程で用いられる酸化炉、拡散炉、CVD装置等熱処理炉の設計・製作を行なっております。試作品の開発、大学等での実験に最適な小口径対応の熱処理炉から、COMB移載機付き(独自開発)量産機、少量生産の特殊デバイスに対応したカスタム機まで豊富な経験と知識でお客様の多種多様なニーズにお応えします。

研究所で使用する小型精密炉・実験用炉・特殊炉
研究所
大学で使用する小型精密炉・実験用炉・特殊炉
大学
試作品の開発実験で使用する小型精密炉・実験用炉・特殊炉
試作品の開発・実験

取扱熱処理炉 Products

400℃前後の低温域プロセスから1300℃以上の高温域プロセスまで、幅広いニーズにお応えいたします。350℃を下回る低温域の特殊温度についても対応可能。横型・縦型を問わず、卓上サイズから移載機付きの大型量産機まで幅広く対応いたします。

半導体製造用のシリコンウエハ対応だけではなく、GaAsウエハ、GaNウエハ等を用いる化合物半導体向けの製造工程にも対応いたします。サファイアウエハやSiCウエハなどを用いるLEDチップやパワーデバイス製造工程、太陽電池、MEMS等の製造工程にも多種装置を納めております。

真空熱処理炉
真空熱処理炉
小型熱処理炉
小型熱処理炉
高温真空アニール炉
高温真空アニール炉
精密卓上炉
精密卓上炉
PYRO酸化炉
PYRO酸化炉
アルミシンター炉
アルミシンター炉
バブラー酸化炉
バブラー酸化炉
CVD
CVD

上記以外の熱処理炉も対応可能です。
まずはお問い合わせください。

独自開発Own development

多様化するお客様のニーズにお応えできるよう、熱処理炉関連の製品開発にも力を入れています。

ガス系ユニット
半導体製造用熱処理炉水素/酸素燃焼ユニット 水素/酸素燃焼ユニット
半導体製造用熱処理炉Bubblerユニット Bubblerユニット
半導体製造用熱処理炉Pocl3恒温槽ユニット Pocl3恒温槽ユニット
COMB移載機
半導体製造用熱処理炉25枚一括移載機 25枚一括移載機

部品販売Parts

大手ではすでに取り扱いを中止してしまった部品の代替え用、大学等の研究室での実験炉製作などに下記部品単位での販売も行っております。まずはお客様の仕様をお聞かせください。取付可能かも含め、適切な部品をご提供いたします。

半導体製造用熱処理炉ヒータ―制御用ゲート基板
ヒータ―制御用ゲート基板
弊社装置にも使用しているゲート基板になります。

ゲート基盤スペック表
横型炉用SCRユニット
横型炉用SCRユニット
※写真はK社製横型炉対応
ヒーターカートリッジ(単体販売)
ヒーターカートリッジ(単体販売)
ご希望の炉口径、ゾーン数、均熱長等対応可能です。
※写真は実験用小型ヒーター炉口径65mmタイプ

Contact

当社は半導体製造および太陽光電池、LED製造用熱処理炉の
設計・製造・再生・改造・保守を承っております。
小口径、特殊デバイスにも対応。まずはお気軽にお問い合わせください。