半導体製造工程・太陽電池製造工程・LED製造工程で用いられる酸化炉、拡散炉、CVD装置等熱処理炉の設計・製作を行なっております。試作品の開発、大学等での実験に最適な小口径対応の熱処理炉から、COMB移載機付き（独自開発）量産機、少量生産の特殊デバイスに対応したカスタム機まで豊富な経験と知識でお客様の多種多様なニーズにお応えします。
400℃前後の低温域プロセスから1300℃以上の高温域プロセスまで、幅広いニーズにお応えいたします。350℃を下回る低温域の特殊温度についても対応可能。横型・縦型を問わず、卓上サイズから移載機付きの大型量産機まで幅広く対応いたします。
半導体製造用のシリコンウエハ対応だけではなく、ＧaAsウエハ、GaNウエハ等を用いる化合物半導体向けの製造工程にも対応いたします。サファイアウエハやＳiＣウエハなどを用いるLEDチップやパワーデバイス製造工程、太陽電池、MEMS等の製造工程にも多種装置を納めております。
上記以外の熱処理炉も対応可能です。
まずはお問い合わせください。
多様化するお客様のニーズにお応えできるよう、熱処理炉関連の製品開発にも力を入れています。
水素/酸素燃焼ユニット
Bubblerユニット
Pocl3恒温槽ユニット
25枚一括移載機
大手ではすでに取り扱いを中止してしまった部品の代替え用、大学等の研究室での実験炉製作などに下記部品単位での販売も行っております。まずはお客様の仕様をお聞かせください。取付可能かも含め、適切な部品をご提供いたします。
当社は半導体製造および太陽光電池、LED製造用熱処理炉の
設計・製造・再生・改造・保守を承っております。
小口径、特殊デバイスにも対応。まずはお気軽にお問い合わせください。
