半導体製造・太陽光電池製造・LED製造用熱処理炉
保守改造
熱処理炉の保守改造 Maintenance
当社は、当社既存装置やメーカー製品の保守改造サービスを行っています。継続的に改善・改良を行うことで、多様化するニーズにあった生産環境へと最適化することが可能になります。
点検による
問題点の発見
ご要望に合わせた
改善改良案のご提案
熟練エンジニアによる
修理・改造
安全稼働
生産環境の最適化
保守サービスMaintenance services
横型・縦型炉問わず、既存装置の状態を確認し、部品の交換並びに再生等の御提案を行います。
またお客様の抱えている問題等に対し改善案等の御提案を行います。
- 既存装置の性能確認(プロセス温度の測定/到達真空度測定等)
- 既存ヒーターの交換
- 劣化したヒーター線並びに熱電対線の張り替え交換
- ポンプオーバーホール
- サイリスタ等の交換
- 日頃お客様では実施しずらい部品の交換並びに摺動部等へのグリスアップ作業 他
改造サービスRemodeling services
お客様お手持ちの装置に対し、プロセス仕様の変更・それに伴う部品の選定や取付改造を行います。
また、個々の老朽化した部品の変更・改造等を行います。
- 目的プロセス仕様の変更(ガス種・プロセスレシピ変更)
- コントローラーの載せ替え改造(横型・縦型にかかわらず、DDC等の載せ替え改造)
- 処理ウエハサイズの変更(チャンバー・ヒーター廻りの変更改造)
- 真空排気ラインの改造(ポンプ仕様の変更・バルブ配管等の変更・改造)
改造事例Remodeling Case
DDCの載換え改造
旧式なDDCコントローラーから弊社オリジナルコントローラーへの載換え改造
ヒーターサイズの変更 (処理ウエハサイズアップ)
装置フレーム等の構成に合わせたヒーターのサイズアップ改造。